Насосы воздушные или вакуумные, воздушные или газовые компрессоры и вентиляторы; вентиляционные или рециркуляционные вытяжные колпаки или шкафы с вентилятором, с фильтрами или без фильтров:
841410 насосы вакуумные: 8414102000 используемые в производстве полупроводников
841410 насосы вакуумные:
прочие:
8414102500 насосы роторные поршневые, насосы роторные со скользящими лопастями, насосы молекулярные (вакуумные) и насосы типа Рутс
841410 насосы вакуумные:
прочие:
8414108100 насосы диффузионные, криогенные и адсорбционные 8414108900 прочие